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一文读懂离子渗氮

浏览：1353次发布日期：2019-08-15 字号：大　中　小

离子渗氮法（或辉光放电氮化）是由德国人B.Berghaus于1932年发明的。该法是在0.1～10Torr（Torr = 133.3 Pa）的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极间加上数百伏的直流电压，由于辉光放电现象便会产生象霓红灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。此时，已离子化了的气体成分被电场加速，撞击被处理工件表面而使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行氮化处理。

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